当前位置：首页 >网络 >

中微公司首台 8 英寸 CCP 刻蚀机 Primo AD-RIE 200 顺利付运

2021-06-15 17:06:00

6 月 15 日消息今天，中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微公司”)首台 8 英寸甚高频去耦合反应离子(CCP)刻蚀设备 Primo AD-RIE 200 顺利付运客户生产线。

Primo AD-RIE 200 是中微公司自主研发的新一代 8 英寸甚高频去耦合反应离子(CCP)刻蚀设备。基于已被业界广泛认可的 12 英寸 CCP 刻蚀设备的成熟工艺与特性，Primo AD-RIE 200 在技术创新和生产效率方面都有了进一步提升，能够满足不同客户 8 英寸晶圆的加工需求。

为提高生产效率，Primo AD-RIE 200 刻蚀设备可灵活配置多达三个双反应台反应腔(即六个反应台)。此外，Primo AD-RIE 200 提供了可升级至 12 英寸刻蚀设备系统的灵活解决方案，以满足客户生产线未来可能扩产的需求。

郑重声明：本文版权归原作者所有，转载文章仅为传播更多信息之目的，如有侵权行为，请第一时间联系我们修改或删除，多谢。

推荐阅读

初级教程:微信上的标签怎么删除
微信上的标签怎么删除微信好友删除标签的步骤是：1、打开位置，在【通讯录】页面，点击【标签】选项。2、选择并点击好友所在的标签。3、点击【删除标签】即可。微信（w

2022-04-29
使用手册:微信群聊怎么指定回复某一段话
微信群聊怎么指定回复某一段话微信群聊指定回复某一段话的方法是：1、打开微信群聊。2、长按需要回复的对话，在弹出的对话框里点击【引用】选项。3、输入回复内容即可。

2022-04-29
技术教程:微信聊天背景动态壁纸怎么设置
微信聊天背景动态壁纸怎么设置微信是不能设置动态聊天背景的。微信聊天背景图的设置方法如下：1、点击微信菜单栏的【我】--【设置】，进入设置选项；2、进入设置页面，

2022-04-28
联发科天玑2000旗舰芯片已备好，请于Q3-Q4季度查收！
三星马上就发布带AMD RDNA 2 GPU的SOC，高通也准备了骁龙888 PLUS和骁龙895，苹果则是A15在9月份蓄势待发。今年下半年的高端芯片市场竞争

2021-07-09
虎牙斗鱼合并泡汤！腾讯回应
2021年1月4日，市场监管总局对腾讯申报的虎牙与斗鱼合并案，依法进行经营者集中反垄断审查。7月9日，市场监管总局依据《反垄断法》，全面分析评估，审查表明，腾讯

2021-07-10
谷歌 Fuchsia O S系统新标识曝光，黑了
根据外媒爆料，从美国专利商标局发现谷歌提交了一项图标专利申请，可以看出是基于英文字母“f”的设计而来，从原来活泼的紫红色变成稳重的黑色，本质设计上来说都是无限

2021-07-13